唐新鲁,张培强.微型硅谐振式力传感器的振动分析[J].实验力学,1993,8(4): 微型硅谐振式力传感器的振动分析    DOI： 中文关键词:  谐振式 力传感器 振动 分析 英文关键词:resonating beam force sensor, experimental model analysis 基金项目:国家自然科学基金 唐新鲁  张培强 中国科学技术大学 合肥230026 摘要点击次数: 178 全文下载次数: 0 中文摘要:       介绍了谐振式力传感器的工作原理，并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁（３×０．４×０．０４５ｍｍ＾３）式测力传感器进行了全面的振动分析，所得结构为其进一步优化设计提供了科学根据，文中使用的实验分析方法，为其它微小物体的动态和识别提供了一条有效途径。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

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