| 刘宝琛,史训清.薄膜应力应变曲线和基本力学性能测试[J].实验力学,1994,9(1): |
| 薄膜应力应变曲线和基本力学性能测试 |
| Determination the Fundamental Mechanical Properties of Thin Films |
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| DOI： |
| 中文关键词: 薄膜 应力应变曲线 力学测量 |
| 英文关键词:white light speckle, digit speckle, isolated films compound films,dissociated films., |
| 基金项目:国家自然科学基金 |
| 刘宝琛 史训清 |
| 清华大学 |
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| 中文摘要: |
| 本文采用白光散斑和数字散斑两种方法测量了厚度在１－６０μｍ）之间康铜孤立膜和其上喷镀ＴｉＯ２后复合膜的应力应变曲线，并成功地利用一种新方法－复合材料分离法由孤立膜和复合膜应力应变曲线分离出ＴｉＯ２膜的应力应变曲线，同时给出了它们的基本力学性能（如（ｅ，ｑｓ，ｑｓ，Ｋ）测量结果表明这一方法对于微电子及其组件中常用的薄膜（１－６０μｍ）及超薄膜（０．１－１μｍ）的应力应变和基本力学性能的测量有普遍意义 |
| 英文摘要: |
| In this paper, stress-strain curves of simple foils (thickness 1-60 m)and compound films,i. e. same foils plated with thin layer of TiO2, are measured by means of white light speckle and digit speckle correlation.From these results, the stress-strain curv |
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