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刘宝琛,史训清.云纹干涉反转倍增法及其在微电子组件变形场测量中的应用[J].实验力学,1996,11(4):
云纹干涉反转倍增法及其在微电子组件变形场测量中的应用
DOI:
中文关键词
:
反转倍增 云纹法 膜/基组件 微电子组件
英文关键词
:
基金项目
:
刘宝琛
史训清
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