王琪民,单保祥.微电子机械系统中构件的基本力学量检测[J].实验力学,1997,12(4): 微电子机械系统中构件的基本力学量检测 Measurement of Essential Mechanical Characteristics for MEMS and Its Components    DOI： 中文关键词:  微机电系统（MEMS），力学量检测 英文关键词:microelectromechanical systems, measurement of mechanical characteristics., 基金项目:国家自然科学基金 王琪民  单保祥 中国科学技术大学 摘要点击次数: 189 全文下载次数: 12 中文摘要:       本文就近几年在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括：ＭＥＭＳ所用材料的基本力学参数测量（如Ｅ、Ｇ、μ），材料的摩擦与摩损的测量，ＭＥＭＳ结构内应力、应变的测量，结构的动态参数和机构运动速度的测量等，为ＭＥＭＳ的研究提供有益的参考。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

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