戴福隆,尚海霞.SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用[J].实验力学,2002,17(3): SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用    DOI： 中文关键词:  SEM扫描云纹法 相移技术 MEMS 云纹图像 四步相移 虚应变 微电子机械系统 英文关键词: 基金项目:国家自然科学基金资助项目 (19472 0 3 8) 戴福隆  尚海霞 清华大学工程力学系 北京100084 (戴福隆，尚海霞) ，清华大学工程力学系 北京100084(谢惠民) 摘要点击次数: 321 全文下载次数: 18 中文摘要:       本文提出一种扫描电镜（SEM）扫描云纹法的相移新技术，通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动，对获取的云纹图像实现0－2π范围内的四步相移，从而获得了更高的位移测量灵敏度，同时对SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述，并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中，实验结果证明了该方法的可行性，该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

网站版权：《实验力学》编辑部
您是本站第 65667352 位访问者,今日一共访问258次,当前在线人数: 0
技术支持：本系统由北京勤云科技发展有限公司设计