段志辉 GolkherMark.基于等厚干涉的轴向空间相干度分析及其在表面形状测量中的可行性探讨[J].实验力学,2002,17(4): 基于等厚干涉的轴向空间相干度分析及其在表面形状测量中的可行性探讨 Longitudinal Spatial Coherence Analysis Based on the Interpretation of the Fringes of Equal Thickness and its Practical Application for the Surface Profilometry    DOI： 中文关键词:  表面形状测量 轴向空间相干度 等厚干涉 空间非相干光源 空间光调制器 空间方向角 相移 英文关键词:profilometry,longitudinal spatial coherence,the fringes of equal thickness,extended quasi-monochromatic spatially incoherent source,spatial light modulator,standard step,specified inclination,new phase shift technique 基金项目: 段志辉 GolkherMark 中国科学技术大学力学和机械工程系，Department of Electrical and Computer Engineering，Ben-Gurion University of the Negev，Department of Electrical and Computer Engineering，Ben-Gurion University of the Negev，Laboratory for Information Photonics and Wave Signal Processing，Depa 摘要点击次数: 151 全文下载次数: 21 中文摘要:       从等厚子干涉的解释出发，推导出了二维空间的相干方程。基于空间相干方程，利用SLM产生了一个新的空间非相干光源。同时提出了新的相移方案，并结合这个新的相移方案，实现了轴向空间距离的探测和干涉条纹的相移。分析了空间方向角度相干方程的影响，并给出了实验验证。通过对非相干光源的参数和特定的空间距离以及空间方向角的匹配，重建了一个具有标准段差的实际物体的表现形状。为光学表面形状测量提供了新的思路。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

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