张泰华,王秀兰.真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能[J].实验力学,2003,18(1): 真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能 Mechanical Properties of DLC Films Deposited by Vacuum Magnetic-filtering Arc Plasma    DOI： 中文关键词:  真空磁过滤电弧离子镀 DLC膜 纳米压痕 纳米划痕 固体润滑 英文关键词:vacuum magnetic-filtering arc plasma deposition,DLC coatings,nanoindentation, nanoscratch,solid lubricating 基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.10242001,10172086)，中科院知识创新工程重要方向项目KJCX2-SW-L2 张泰华  王秀兰 [1]中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室，北京100080 [2]航天材料及工艺研究所，北京100076 摘要点击次数: 238 全文下载次数: 13 中文摘要:       采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石（DLC）膜。为了检测成膜质量，分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性能，对这种亚微米厚的膜，纳米压痕技术和纳米划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形，断裂和摩擦等的信息。同DLC/40CrNiMo相比。DLC/9Cr18的硬度高和固体润滑效果显著，9Cr18是较为理想的基体材料。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

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