谢惠民,李标.微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究[J].实验力学,2003,18(1): 微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究    DOI： 中文关键词:  扫描离子束云纹法 高频光栅 应变 微电子机械系统 面内变形 英文关键词: 基金项目: 谢惠民  李标 [1]清华大学工程力学系，北京100084 [2]教育部破坏力学重点实验室客座研究人员，北京100084 摘要点击次数: 237 全文下载次数: 16 中文摘要:       本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法。对该方法的测量原理以及实验技术进行详尽地阐述，通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验。成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量，实验结果表明了该方法的可行性。 英文摘要:        查看全文  下载PDF阅读器 关闭

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