张泰华.影响纳米压入测试结果的因素[J].实验力学,2004,19(4): |
影响纳米压入测试结果的因素 |
Factors Influencing Nanoindentation Test Data |
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DOI: |
中文关键词: 纳米压入,熔融硅,接触零点,压针,吸湿,粗糙度 |
英文关键词:nanoindentation,fused silica,contact point,tip,hygroscopy,roughness |
基金项目:国家自然科学基金项目No .1 0 372 1 0 3和 1 0 1 72 0 86,中科院知识创新项目KJCX2 -SW -L2的资助 |
张泰华 |
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京100080 |
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中文摘要: |
纳米硬度计 ,又称深度测量压入仪。该仪器在刚性压针上施加特定载荷 ,同时记录压入试样深度。此技术广泛应用于微纳米尺度力学性能的研究。以MTSNanoIndenter○RXP为测试手段 ,参考试样熔融硅为研究对象 ,进行了不同压入深度的测试。结果显示 ,硬度和模量有随压入深度减小而增大的趋势。分析了接触零点的确定、压针尖端缺陷、试样表面的吸湿和粗糙度、弹塑性转变等因素对测试结果的影响。在压入深度为微米和亚微米量级时 ,上述因素对测试结果无显著影响 ;而在纳米量级时 ,有显著影响。所以 ,当压入深度为几十纳米时 ,纳米压入测试结果的可靠性值得注意 |
英文摘要: |
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