| 董萼良,康新,陈凡秀,林保平,何小元.利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺/SiO2合成薄膜的力学性能[J].实验力学,2005,20(1):109~114 |
| 利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺/SiO2合成薄膜的力学性能 |
| Experimental Studies on the Mechanical Properties of the Polyimide /SiO2 Film by the Digital Speckle Correlation Method |
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| DOI： |
| 中文关键词: 数字散斑相关法,聚酰亚胺/SiO2,薄膜,力学性能 |
| 英文关键词:digital speckle correlation method (DSCM),polyimide /SiO_2,film,mechanical properties |
| 基金项目:国家自然科学基金(10072017)，科技部“863”计划(2002AA404140)资助项目 |
| 董萼良 康新 陈凡秀 林保平 何小元 |
东南大学工程力学系 南京210096
(董萼良，康新，陈凡秀)
，东南大学化学化工系 南京210096
(林保平)
，东南大学工程力学系 南京210096(何小元)
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| 中文摘要: |
| 聚酰亚胺 /SiO2 合成薄膜是一种具有优良力热光电性能的薄膜材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能测量的研究具有非常重要的意义。本文将数字散斑相关技术和微拉伸试验相结合,对厚度为 37μm的聚酰亚胺(polyimide) /二氧化硅(SiO2 )合成薄膜进行了力学性能测量,获得了比较满意的结果。文章给出了测得的弹性模量和泊松比。为了解决数字散斑相关法不能直接测量较大变形的缺陷,本文提出了多级相关算法,并利用亚像素搜索和双线性插值进行了数据处理。 |
| 英文摘要: |
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