| 李喜德,施惠基.器件表面形貌及粗糙度检测[J].实验力学,2006,21(2): |
| 器件表面形貌及粗糙度检测 |
| Measurement of Device Surface Profile and Roughness |
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| DOI： |
| 中文关键词: 表面轮廓 粗糙度 结构 器件 光学测量 扫描显微术 |
| 英文关键词:surface profilometry,roughness,structure,device,optical metrology,scanning microscopy |
| 基金项目:研究获自然科学基金项目10372049,10072031和10232030的资助，国家重点基础研究专项G1999065002，清华大学开放实验室基金资助 |
| 李喜德 施惠基 |
| [1]清华大学工程力学系 [2]清华大学工程力学系 北京 |
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| 中文摘要: |
| 本文基于光学计量技术及扫描显微技术,从结构和器件的表面轮廓和粗糙度两个参数入手,介绍表面高度起伏从厘米到原子级水平的检测和分析中的一些重要方法,如适用于表面起伏从厘米到微米量级的结构光投影方法、表面起伏从毫米量级到亚微米量级的相干光形貌测试技术,以及从亚微米到亚纳米水平的光散射技术和扫描显微表面形貌与表面粗糙度测试技术等,并讨论各种尺度下表面的表征方式和检测参数。最后结合散斑统计分析技术,应用局域散斑场强度统计平均和散斑场自相关函数计算,给出了某战斗机机体蒙皮材料在环境应力腐蚀条件下表面粗糙度(范围从0.025微米到0.7微米)随腐蚀介质温度、腐蚀时间等参数的检测和分析结果。 |
| 英文摘要: |
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