| 彭云,李喜德.微梁与基底间的毛细粘附作用[J].实验力学,2006,21(5): |
| 微梁与基底间的毛细粘附作用 |
| Capillary Adhesion between the Micro Beam and Its Substrate |
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| DOI： |
| 中文关键词: 毛细粘附,MEMS器件,微尺度实验,变形 |
| 英文关键词:capillary adhesion,MEMS device,micro scale experiment,deformation, |
| 基金项目:国家自然科学基金项目No.10372049、No.10572071、No.10232030，国家重点基础研究发展计划2004CB619304，清华大学强度开放基金等的资助 |
| 彭云 李喜德 |
| 清华大学工程力学系 FML北京100084 |
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| 中文摘要: |
| 在表面微型机械结构的制造过程中,强的毛细相互作用常常使得组成这些结构的微桥、微梁与基底粘附而导致失效。而在微尺度实验中,微桥与微梁又是微尺度材料常数和性能检测的常用的试件样式,如果实验中加载端与被检测的微尺度试件发生毛细粘附,将直接影响检测数据的准确性。本文应用微悬臂梁试件,讨论微梁与基底间的毛细粘附作用,并通过能量原理计算其粘附力的大小和试件几何尺寸、粘附面距离、粘附液体特性之间的关系。最后应用微散斑干涉,检测粘附平衡态时微桥和微梁的粘附力以及由毛细粘附所导致的弯曲变形,并与理论计算结果进行比较。 |
| 英文摘要: |
| In the process of manufacturing the micro mechanical structure,strong capillary effect often makes the micro beam adhere to the substrate,which leads to device failure.In the micro scale experiments,micro beam is often used as the specimen to test the mic |
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