| 汪柳生,尤辛基,张青川,何世平.应用微波技术实现纳米精度微光学对准和实时粘合[J].实验力学,2007,22(3):206~216 |
| 应用微波技术实现纳米精度微光学对准和实时粘合 |
| Micro Optics Alignment with Nanometer Precision and Real-Time Bonding Using Microwave Technology |
| |
| DOI： |
| 中文关键词: 微光学包装 微波加热 实时监控 纳米加热器 |
| 英文关键词:Micro optics packaging Microwave heating real time monitoring Nano-heaters |
| 基金项目: |
| 汪柳生 尤辛基 张青川 何世平 |
| 中国科学技术大学力学和机械工程系,合肥230026 |
| 摘要点击次数: 247 |
| 全文下载次数: 182 |
| 中文摘要: |
| 本文讨论纳米精确度光学对准技术，以用于采用热固化树脂的微光学包装。为了达到一个快速固化过程，直接将微波能量作用于需要进行光学粘合的地方。然而常规微波加热技术，依赖于树脂和元件之间的高质量比。为了改进微光学包装中微量粘合剂的热吸收率，我们先将接合面抛光，再镀上金属薄层。这样一来，微波能量将被镀层快速吸收。为防止接合面过热，采用一个红外（IR）温度传感器，以监测粘合剂的温度。根据温度的高低，一个自动化的系统则可以调整微波的功率输出，以便达到相对恒定的固化温度。在快速固化过程中，预先调准好的微光系统，如光纤耦合器，将由于加热的不均匀性而不可避免地遭受干扰。为补偿这个副效应，开发了一个实时光学对准监控和反馈系统。以包装光纤耦合器为例，该系统可实时监测当粘舍剂由微波固化时器件的插入损失（IL）。我们采用的一种三维压电变换装置（PZT）可达到x-、y-和z-方向的的对准。该PZT的10nm调节精度可监测出0．004dB的IL敏感性。与常规的固化烤箱比较，该系统的微光学包装效率可提高150倍。由于采用实时监控和反馈系统，批量生产中产品的合格率也将大大改善。 |
| 英文摘要: |
| |
| 查看全文 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
