| 李力.光学方法在微电子封装中的应用[J].实验力学,2007,22(3):236~248 |
| 光学方法在微电子封装中的应用 |
| Application of Optical Methods in Microelectronics Packaging |
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| DOI： |
| 中文关键词: 微电子封装 光学方法 云纹干涉 阴影云纹 显微热成像 moiré interferometry shadow moiré |
| 英文关键词:microelectronics packaging optical methods micro-thermal Imaging |
| 基金项目: |
| 李力 |
| Cisco Systems, Inc. , San Jose, CA 95134, USA |
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| 中文摘要: |
| 热应力分析在微电子封装的设计和制造中是非常重要的一环。影响微电子封装可靠性的因素包括封装结构中的温度分布、热致变形和关键界面上的层间粘结强度。在微电子封装热应力分析和可靠性评估中，实验力学起着重要的作用。凭借其内在的并行处理能力，实验力学中的光学方法可以提供现场的、具有各种敏感度和解析度的全场位移测量，因而它也被广泛地用于微电子封装领域。本文讨论了光学方法在微电子封装热应力分析中的应用，并举实例来说明光学方法是如何地被用于微电子封装技术的研发以及考核验收。 |
| 英文摘要: |
| Thermo-mechanical analysis is very important in the design and manufacturing of microelectronics package. The main concerns in packaging reliability include temperature distributions, thermally induced deformations and interracial adhesion at the critical |
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