| 王俊兰.激光诱导应力波测量薄膜界面强度研究进展[J].实验力学,2007,22(3):249~257 |
| 激光诱导应力波测量薄膜界面强度研究进展 |
| Recent Developments in Thin Film Adhesion Measurement by Laser-induced Stress Waves |
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| DOI： |
| 中文关键词: 薄膜界面强度 激光诱导应力波 不同加载模式 振荡波 |
| 英文关键词:thin film adhesion laser-induced stress waves mode-mixity shock waves |
| 基金项目:The author would like to acknowledge the financial support from the US Army Research 0ffice and the University of California Regents. |
| 王俊兰 |
| 美国加利福尼亚大学河滨分校机械工程系 |
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| 中文摘要: |
| 薄膜界面强度是影响多层薄膜装置性能的重要参数。激光诱导应力波技术是在可控制和非接触条件下定量测量薄膜界面强度最有效的技术之一。在采用高强度应力波短脉冲加载实现界面层裂的同时，通过光学测量薄膜自由面瞬态位移，并利用应力波理论计算得到临界界面强度。通过精确控制试样几何形状及尺寸，包括拉伸、剪切和复合型在内的各种界面加载模式都可以实现。本文对激光诱导应力波测量薄膜界面强度研究进展进行了综述，并特别强调了不同加载模式的实现方法，高强度超薄薄膜的界面测量技术，以及如何通过辨别薄膜自由面瞬态位移光学干涉信号中的某些特殊性征来实时判断和测量界面的层裂。 |
| 英文摘要: |
| Thin film adhesion is an important parameter that can affect the performance and function of multilayer thin film devices. Laser-induced stresswave technique is one of the most versatile techniques that can quantitatively measure the thin film adhesion in |
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