| 蒋锐,胡小方,许晓慧,伍小平.纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能[J].实验力学,2007,22(6):575~580 |
| 纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能 |
| Study of Mechanical Properties of PZT Piezoelectric Film by Nano-indentation Technique |
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| DOI： |
| 中文关键词: PZT压电薄膜 纳米压痕法 压痕尺度效应 |
| 英文关键词:PZT piezoelectric films nano-indentation technique indentation size effect |
| 基金项目:国家自然科学基金 |
| 蒋锐 胡小方 许晓慧 伍小平 |
| [1]中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室 [2]中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥230027 |
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| 中文摘要: |
| PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要。薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用，力学性能与宏观块体材料有显著差异。本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度，考察了基底的影响，分析了退火时间对于其力学性能的影响，以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应。 |
| 英文摘要: |
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